MEMS有哪些键合类型
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2024-11-29
直接键合（多用于Si-Si,SiO2-Si,SiO2-Sio2之间的连接）阳极/静电键合（多用于Si和玻璃的键合，对表面粗糙度不那么敏感）过渡层键合（在需要键合的两种物质间加类似粘合物的东东~）
直接键合（多用于Si-Si,SiO2-Si,SiO2-Sio2之间的连接）
阳极/静电键合（多用于Si和玻璃的键合，对表面粗糙度不那么敏感）
过渡层键合（在需要键合的两种物质间加类似粘合物的东东~）
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