三维原子探针显微术简介
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2025-01-01
三维原子探针显微术(3DAP)是一种先进的科学技术,它基于"场蒸发"原理,通过强大的电压脉冲或激光脉冲作用于样品表面,逐个将原子变为离子并进行收集。这种技术的独特之处在于,它能以最小的尺度,精细地揭示材料的内部结构,无论是简单的还是复杂的。它特别适用于材料研发中
三维原子探针显微术(3DAP)是一种先进的科学技术,它基于"场蒸发"原理,通过强大的电压脉冲或激光脉冲作用于样品表面,逐个将原子变为离子并进行收集。这种技术的独特之处在于,它能以最小的尺度,精细地揭示材料的内部结构,无论是简单的还是复杂的。它特别适用于材料研发中对微小尺度结构测量与分析的挑战,比如研究沉淀相或团簇的尺寸、成分及分布,以及元素在内界面如晶界、相界、多层膜间的偏聚行为。
以前,原子探针技术由于对样品导电性的要求和针尖样品的制备难度,主要局限于金属材料的纯科学研究。然而,随着21世纪初仪器技术的突破和汇聚离子束制样技术的成熟,3DAP的应用范围得到了显著拓宽,现在可以应用于金属、半导体、存储介质,甚至是先进材料如纳米线、量子阱等。其应用领域已从纯学术研究扩展到汽车、航空发动机、核设施、半导体芯片、LED、光伏材料等,甚至直接参与到生产过程的监控中。
令人瞩目的是,3DAP技术已经超越了无机材料的界限,甚至被用于有机材料的研究,如《Nature》曾报道的一项利用该技术对动物头盖骨的研究。现今,3DAP技术以其独特的分析视角,越来越受到材料研发人员的重视,已经逐渐成为TEM、SIMS等材料分析工具中的一员,成为主流分析技术之一。
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