半导体cmp是什么意思
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2024-12-31
这个意思是化学机械抛光。CMP(化学机械抛光)是集成电路制造过程中实现晶圆全局均匀平坦化的关键工艺,主要包含了两种主要的材料:抛光液与抛光垫。抛光液按照磨粒的不同,分为二氧化硅浆料、氧化铈浆料和纳米金刚石浆料等大类。抛光垫是一种具有一定弹性疏松多孔的材料,一
这个意思是化学机械抛光。
CMP(化学机械抛光)是集成电路制造过程中实现晶圆全局均匀平坦化的关键工艺,主要包含了两种主要的材料:抛光液与抛光垫。
抛光液按照磨粒的不同,分为二氧化硅浆料、氧化铈浆料和纳米金刚石浆料等大类。
抛光垫是一种具有一定弹性疏松多孔的材料,一般由含有填充材料的聚氨酯组成。
总体来讲,相比其他原材料,CMP材料是一个相对较小的市场,同样的,行业技术壁垒较高,客户认证时间长,全球市场主要被美日等企业垄断。
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