硅烷，以其通式SinH2n+2为特征，主要包括六种直链或支链的氢化硅，如SiH4、Si2H6、Si3H8、Si4H10、Si5H12和Si6H14。随着硅原子数目的增加，硅烷的热稳定性显著下降。例如，SiH4和Si2H6在400℃时开始分解，而Si4H10在常温下已表现出明显分解迹象，Si6H14的分解速率更为迅速。

硅烷在空气中可燃，燃烧产物为二氧化硅和水。它们与卤素单质反应可生成卤代硅烷，而在催化剂的协助下，与卤化氢反应则产生卤代物。硅烷在水的作用下分解为二氧化硅和氢气，与醇类反应则生成硅酸酯。此外，硅烷还能在催化剂条件下与氯仿发生氢和氯的交换反应。

硅烷的制取方式多样，其中之一是通过卤化硅与氢化铝锂在乙醚中进行反应。其中，甲硅烷（一种硅烷）尤为重要，它通过热分解法可以制得超级硅，而这又是半导体硅生产的关键原料。硅氧烷则属于结构复杂的有机硅化合物，它们的单体可以通过有机卤化硅烷的水解过程制得，同时也是聚硅氧烷的组成部分。