假设这些误差是独立的且可能同时发生。这里提到的误差包括：

1. 视觉定位误差：1μm

2. 相机轴运动定位误差：5μm

3. 贴附轴运动误差：5μ米（注意这里的单位是微米，不是纳米）

由于这些误差是独立的，我们可以使用均方根（RMS）方法来合成这些误差。均方根方法是一=种统计学上常用的方法，用于合成独立的误差源。

首先，我们需要将所有的误差转换为相同的单位。在这里，我们将所有的误差转换为微米（μm）：

- 视觉定位误差：1μm

- 相机轴运动定位误差：5μm

- 贴附轴运动误差：5μm（已经给出的是微米）

接下来，我们将每个误差的平方相加：

sqrt( (1μm)^2 + (5μm)^2 + (5μm)^2 )

=sqrt( 1 + 25 + 25 )

=sqrt( 51μm^2 )

现在，我们取这个和的平方根来得到合成误差：

=sqrt{51μm^2} )

≈7.14μm

物料实际贴附位置与设定位置的公差大约是7.14μm。这个值小于你提到的11μm，可能是由于在计算过程中考虑了误差的合成方式，而不是简单地将它们相加。在实际应用中，误差的合成通常会考虑误差的统计分布和相关性，而不仅仅是简单的算术相加。