TEM(透射电镜)测试——STEM像的衬度

职业培训 培训职业 2024-11-30
TEM(透射电镜)的成像衬度源于样品对电子束的散射,包括振幅衬度和相位衬度。振幅衬度在TEM、STEM模式和明场、暗场像中都可见,其中质-厚衬度和衍射衬度是关键部分。本期将重点讨论STEM图像的衬度特性。在理想条件下,STEM像的分辨率和衬度与传统透射电镜(CTEM)相同,能重现质

TEM(透射电镜)的成像衬度源于样品对电子束的散射,包括振幅衬度和相位衬度。振幅衬度在TEM、STEM模式和明场、暗场像中都可见,其中质-厚衬度和衍射衬度是关键部分。本期将重点讨论STEM图像的衬度特性。

在理想条件下,STEM像的分辨率和衬度与传统透射电镜(CTEM)相同,能重现质厚衬度、衍射衬度和相位衬度。然而,STEM的入射束孔径角和探测器接收角与CTEM有所不同,导致像衬度存在差异。例如,CTEM中较小的孔径角可能导致在STEM像上消失的消光轮廓线。

STEM的衬度应用广泛,如厚试样和对电子辐照敏感样品适合使用质厚衬度像,而Z-衬度像(HAADF)能提供原子级分辨率。通常,研究人员会结合CTEM的高分辨像和STEM的粒子观察,以优化成像效果。ADF和HAADF像则能观察到常规像难以显示的特性,通过信号处理如探测器增益和亮度/衬度调整可进一步控制图像。

STEM的质量质厚衬度像与TEM类似,由电子的弹性散射形成,而衍射衬度像在细节清晰度上不如CTEM。Z-衬度像,即HAADF像,通过高角度散射电子形成,能清晰展现原子级的散射信息,尤其适合观察非晶材料和生物试样。

总的来说,STEM像的衬度是其独特成像能力的关键,通过不同模式和参数的选择,可以揭示样品的复杂特性,是材料科学和生物学研究中的重要工具。

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